巨偉鈦業(yè)定制鈦靶塊鈦靶材高純鈦靶規(guī)格全批量?jī)?yōu)惠

發(fā)布時(shí)間：2020-07-26 17:17:45 瀏覽次數(shù) ：

產(chǎn)品名稱	鈦靶塊、鈦靶材
牌號(hào)/材質(zhì)	TA1，TA2，TA3，TC4(Ti6AL4V)，GR1，GR2，GR3，GR5( Ti6AL4V)
標(biāo)準(zhǔn)	鈦圓靶：技術(shù)條件：符合GB/T2695-1996，ASTMB348-97 鈦板靶：技術(shù)條件：符合GB/T3621-94，ASTM B265-93
規(guī)格	圓靶：常用規(guī)格：60/65/95/10030/32/40/45mm板靶：(8-25)mm (150-300) mm * (1000-2500)mm管靶： 70mm * 7mm/10mm
表面	車光，可加螺紋
特性	重量輕，優(yōu)異的抗腐蝕性，防腐性，強(qiáng)度高，耐熱性好，延展性好，無毒性，無磁性，優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度等。
狀態(tài)	退火態(tài)（M）熱加工狀態(tài)（R）冷加工狀態(tài)（Y）(退火，超生波探傷)
應(yīng)用	鈦靶材廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲(chǔ)存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層，玻璃鍍膜工業(yè)等領(lǐng)域。

品名	純度	密度	鍍膜優(yōu)勢(shì)色	形狀	常規(guī)尺寸	應(yīng)用行業(yè)
鈦鋁（TiAl）合金靶	2N8-4N	3.6-4.2	玫瑰金/咖啡金	圓柱形	直徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具
純鉻（Cr）靶	2N7-4N	7.19	白色/黑色	圓柱形	直徑60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具
純鈦（Ti）靶	2N8-4N	4.51	金黃色/槍黑色/ 藍(lán)色/玫瑰紅	圓柱形	直徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具
純鋯（Zr）靶	2N5-4N	6.5	金色	圓柱形	直徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具
純鋁（Al）靶	4N-5N	2.7	銀色	圓柱形	直徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具
純鎳（Ni）靶	3N-4N	8.9	金屬本色	圓柱形	直徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具
鎳釩（Nir）靶	3N	8.57	藍(lán)綠色	圓柱形	直徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具
純鈮(Nb）靶	3N	8.57	白色	圓柱形	直徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具
純鉭（Ta）靶	3N5	16.4	黑色/紫色	圓柱形	直徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm	裝飾/工具

鈦靶概述及材質(zhì)要求

1、純度

純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。不過在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對(duì)靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

2、雜質(zhì)含量

靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對(duì)不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如，半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材，對(duì)堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

3、密度

為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。

鈦靶材